功率半导体标准动态特性测试系统 山东国家电网检测
功率半导体标准动态特性测试系统功率半导体标准动态特性主要完成功率器件的开通特性、关断特性以及极限关断特性参数的测试。本技术规格书ZY-Eon适用于IGCT功率半导体标准动态特性测试台（下面简称测试台），规定了测试台的主要技术要求，参数范围，操作流程，试验方法及检验规则等。本技术规范并未对一切技术细节做出规定，所提供的货物应符合工业标准和本技术规范中所提要求。1. 引用标准[滨1] GB/T 15291-2015 半导体器件 第6部分：晶闸管JB/T 7624-2013 整流二极管测试方法JB/T 7626-2013 反向阻断三极晶闸管测试方法以及国标、IEC、IEEE相关标准，以上标准均执行zuixin版本。如本技术规范与上述各标准之间有矛盾，则应满足较高标准。2. 技术要求序号项目参数备注
1 常规开通通态电流范围：200-10000A，连续可调；
主电容电压范围：300-7000V，连续可调；
zui大导通电流宽度设定范围10μs-5ms
上升时间测量范围0.01-20μs±3%±0.05μs
开通反馈延迟时间测量范围0.01-20μs±3%±0.05μs
开通延迟时间测量范围0.01-20μs±3%±0.05μs
开通能量测量范围0.01-200J±3%±0.1J
开通di/dt测量范围10-5000A/μs±3%±10A/μs
2 常规关断zui大关断电流范围：200-10000A，连续可调；
关断反馈延迟时间测量范围0.01-20μs±3%±0.05μs
关断延迟时间测量范围0.01-40μs±3%±0.05μs
关断能量测量范围0.01-1000J±3%±0.1J
断态电压上升率测量范围10-5000V/μs±3%±10V/μs
断态电流下降率测量范围10-10000A/μs±3%±10A/μs
*主回路寄生电感≤300nH
3 极限关断zui大关断电流范围：＜20000A；设备能力
4 数据采集和处理单元示波器带宽不低于500MHz，采样率不低于6.5Gs/s
试品控制方式光纤控制
2.1. 自动恒温压力夹具
序号 项目 参数 备注
1 工作方式 自动，气动
2 压力范围 10～130KN；分辨率0.1 KN，精度±5%±1KN。
3 温度控制范围 70～180℃，分辨率0.1℃； 高压阳极控温器采用非接触式测温
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